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                    襯底、外延、芯片技術突破性發展

                    字體變大  字體變小 發布日期:2014-06-23  瀏覽次數:1231
                    核心提示:采用新技術和大圓片技術生長外延,可大幅度降低外延、芯片的制作成本。
                         全球外延、芯片企業有142家,我國投產36家,籌建25家。全球現有MOCVD約2800臺,我國有700多臺,投產400臺左右。2011年全球芯片產量820億只,2012年預計將達950億只,芯片產能過剩35%。目前,白光的實驗室光效可達303 lm/W,產業化為140~150 lm/W,最近Cree推出了160lm/W的產品。同時,藍光光效達到300lm/W,紅光光效達240 lm/W,綠光光效達160lm/W。

                     圖形化襯底(定向、納米)和半極性、非極性襯底方面,通過改進工藝、簡化流程、節省原料、降低成本等取得了很好的成果;同質外延方面,可采用多種方法生產GaN襯底,并在GaN襯底上生長GaN的LED,極大減少了MO源和高純氣體用量,有人預測可降低成本50%。
                         在8英寸的Si襯底上生長GaN,全球有多家公司已投入研發,由于可用現有多余的生產設備、簡化工藝流程,將大幅度降低成本。同時,Aixtron推出以Si為襯底的外延爐,可嚴格控制彎曲度,均勻一致生產。這無疑將推動在8英寸的Si襯底上生長外延的進程,并可大幅度降低成本。
                         日本礙子公司的新外延技術由于大量減少位錯密度,極大提高了LED性能指標,取得了突破性進展。
                         在芯片結構方面,已出現多種新結構,較典型的是六面體發光芯片,并采用多面表面粗化技術,減少界面反射,提高光萃取率,從而提高外量子效率。三星公司采用納米級的六角棱錐結構技術做出的LED,可實現半極性、非極性生長GaN,散熱好、晶體質量好,實現了多色光的白光LED,取得突破性進展。
                         據有關報道,綜合來看,許多外延、芯片的重大技術創新,大部分是針對提高性能和降低成本的關鍵技術問題,所以有機構專家分析預測,未來10年外延成本將以每年25%的速率降低。
                         綜上,由于GaN外延、芯片技術的不斷突破,采用不同襯底、新結構和納米級技術等,可生長低位錯的GaN,并做出高光效LED。在沒有波長轉換時,其光效可超過300lm/W(理論值可達400lm/W);采用熒光粉波長轉換時,光效可超過200lm/W(理論值可達263lm/W),還可開拓單芯片發多色的新技術路線。同時,采用新技術和大圓片技術生長外延,可大幅度降低外延、芯片的制作成本。

                     
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