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提示信息
適用制程研發, 清潔, 活化, 蝕刻
外型尺寸:W 562 mm, H 211 mm, D 420 mm
反應室尺寸: ? 100 mm, L 280 mm
氣體供應: 流量控制型 ; 雙氣體通道
射頻發生器: 40kHz/100 W, 可調變輸出功率
真空泵: Leybold, Type S1.5 (1.5m3/h)
控制方式: 電腦控制
聯系人：
梁小姐
聯系電話：
051265163986
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