國內設備生產廠家也在一些領域取得了一些突破。北方微電子的ELEDE330系列的干法蝕刻機在國內大約占到了60%的市場份額，而蘇州德龍和深圳大族激光也聯手搶到了約80%的訂單，而沈陽芯源的直線型和型芯勻膠機也走進了國內大多數芯片廠的生產車間。此外，多加MOCVD廠家開始推出樣機，并正在從實驗室走向工廠，開始正式轉化為產品。
1、 劃片機
2008年以前我們使用的激光劃片機只有Newwave、Opto、JPSA，進口設備一統天下，根本沒有國產設備的身影。而2008年5月份以后，市場上陸續出現了德龍、大族、華工。在他們幾年地不懈的努力下，到2011年，市場上的主流紫外劃片設備已基本都是國產設備的天下。設備單價大幅度下降，設備產能大幅提升。
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廠家
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價格（美元） |
劃片效率 |
市占率 |
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2008年5 月以前 |
Newwave |
35-40萬 |
3-5片/小時 |
85% |
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Opto |
30-35萬 |
1-3片/小時 |
5% |
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JPSA |
45-50萬 |
5-6片/小時 |
10% |
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2008- 2011年 |
德龍 |
22-25萬 |
12片/小時 |
55% |
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大族 |
25-28萬 |
12片/小時 |
35% |
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DISCO |
38-40萬 |
12片/小時 |
10% |
近幾年紫外劃片機市場變化情況
2011年之后，隨著芯片廠對芯片亮度的不懈追求，傳統紫外切割逐漸顯露出很多不足。隱形劃片機逐漸走進了人們的視野。
深圳大族和蘇州德龍也陸續推出了隱形切割機。由于隱形切割專利被日本濱松的掌握。很快，德龍就被專利困住，大族激光乘此機會緊急購買日本專利，并迅速進入市場。德龍尋求突破口，對國際專利的壟斷格局，隱形切割設備的生產和芯片的生產得到了徹底解放。
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廠家
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價格（元） |
劃片效率 |
市占率 |
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德龍激光 |
170-180萬 |
20-22片/小時 |
45% |
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大族激光 |
170-200萬 |
18-20片/小時 |
35% |
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QMC |
200-220萬 |
22-24片/小時 |
15% |
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DISCO |
240-280萬 |
16-18片/小時 |
5% |
隱形切割機市場變化情況
2、 干法蝕刻機
北方微電子10年開始正式在LED上推干法蝕刻設備，到2011年開始在新增的刻蝕機市場上占有一定比例，在12年推出了330的升級版330plus，在13年又陸續推出了采用靜電卡盤的330S+、330SGE+。NMC GaN ICP設備憑借較為先進的技術工藝水平、客戶端的穩定運行，較快的服務響應時間，2013年一舉取得超過60%的市場份額。
3、 勻膠顯影設備
沈陽芯源是勻膠顯影設備的代表。2009年起，芯源開始投入LED使用的直線型及星型勻膠及顯彰機的推廣�；谄渑c臺灣設備較優惠和價格及相對迅速地響應時間，同時受惠于國家11.5及12.5重大科技專項支持，設備陸續在國內各大芯片廠家得到使用，到2013年底，LED領域國內的客戶份額達到了60%以上。
4、 MOCVD
2011年以來，國產MOCVD發展迅速，多家設備由實驗室開始逐步進入實質性的生產。
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時間 |
事件 |
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2013年10月18日 |
理想能源MOCVD設備 江蘇璨揚光電有限公司的外延工廠正式投入試量產 |
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2013年09月11日 |
天龍光電宣布公司已經銷售兩臺MOCVD設備 |
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2013年07月11日 |
天龍光電子公司首臺大規模生產型LED MOCVD設備ProMaxy®已于 2013年6月在江蘇漢萊科技有限公司順利通過生產評估驗收。 |
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2013年03月19日 |
中微半導體設備（上海）有限公司正式發布了具有自主知識產權的 MOCVD——Prismo D-Blue,并首次進入半導體照明市場。 |
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2013年01月10日 |
深圳市捷佳偉創公司采用中山大學自主技術，制造國內首臺量產型 ZnO基MOCVD設備，已進入工藝認證完成階段。 |
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2012年12月27日 |
廣東昭信集團二代量產型MOCVD設備通過鑒定，比第一代設備在產出率和可靠性等方面都有顯著提升，而價格僅為進口設備的一半。 |
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2012年12月12日 |
江蘇中晟半導體設備有限公司的全資子公司中晟光電設備（上海）有限公司于成功發運首臺大型國產MOCVD設備給客戶。 |
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2012年12月06日 |
理想能源設備有限公司MOCVD設備成功下線。這是在第一代原型機的基礎上開發出第二代量產型MOCVD設備。 |
圓融與MOCVD廠家的合作
中晟光電設備有限公司是一家較早從事MOCVD設備研發及生產的企業。目前和圓融在MOCVD國產化方面展開了合作，在江西圓融有2個反應腔，處于調試階段，后續將增加為4個反應腔合一的整體結構。
中晟MOCVD單個反應腔的容量為66片（2英寸），頂蓋距離托盤的距離為5cm，設備整體設計較為精良，操作方便，中文界面，有利于操作人員工作。
目前設備正處于調試階段，初步的結果較理想，正在做進一步的調試研發。希望未來在維護周期方面可以延長，提高設備的利用率。
中微半導體設備（上海）有限公司是一家專業從事半導體設備研發及生產的企業，主要產品有半導體集成電路介質膜刻蝕設備、MOCVD設備等。目前在江西圓融有2個MOCVD的反應腔，1個已經投入量產，產品性能可以達到我公司的內部標準，性能指標與Veeco機臺表現接近，另外1個反應腔在調試過程中，后續也將增加為4腔。
中微MOCVD單個反應腔的容量為54片（2英寸），頂蓋距離托盤的距離為9cm，維護周期約為30~40天。
由于是新的設備，在調試過程中也發現了一些可提升的空間，希望在今后可以通過設計、部件等方面的優化將使設備更加完善。
5、 其它設備
其它設備如研磨機、清洗機、甩干機、蒸鍍機、裂片機、點測機、分揀機等，其中雖有部分國產設備，但七成以上的設備均為臺灣或進口設備。如點測機分選設備中電45所及深圳矽電也在積極推進，但整體比例國產設備市場份額不超過10%。
此外這些設備除研發資金較高，研發周期較長，技術更新快之外，市場推廣難。國產設備沒有量產的檢驗及反饋后的改進，因此在穩定性上略有不足，也造成芯片廠家對國產化設備信心不足。很多企業在送樣機進行Demo較為順利，一到批量推廣就面臨重重困難。
6、 圓融使用情況
國產設備列表
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編號 |
設備 |
廠商 |
數量 |
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1 |
MOCVD |
中微 |
2 |
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2 |
MOCVD |
中晟 |
2 |
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3 |
ICP |
北方微電子 |
3 |
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4 |
勻膠機 |
沈陽芯源 |
3 |
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5 |
劃片機 |
德龍 |
7 |
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6 |
劃片機 |
大族 |
4 |
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7 |
合金爐 |
青島海迪科 |
2 |
二、設備國產化前路漫漫
1、 星星之火
（1） 星火燎原之勢
2003年以來，外延芯片廠家的生產車間基本上都是進口設備，但是隨著國內設備廠家的不懈努力，從最開始的甩干機、退火爐、清洗臺、顯微鏡等簡單設備到激光切割機、干法蝕刻機、勻膠顯影設備在很多企業已經得到應用，服務于生產中。
（2） 國產設備出現后的影響力
國產設備的出現，由于地域的關系和廠家的服務態度，直接導致進口設備廠家的服務態度好轉、價格下調，特別是國產MOCVD設備的出現（雖然現在還沒有形成氣候），使得進口MOCVD設備價格大幅下降，服務態度大幅度提升。生產企業直接受益。
（3） 重大裝備國產化的希望之星
目前國內多家企業已經生產出來MOCVD設備，并且有多家外延芯片企業正在試用，重大裝備國產化的希望之星已然誕生，正在逐漸形成星火燎原之勢。
2、 發展建議
（1）通過整合、合并，提高競爭力和抗風險能力
設備研發制造，研發周期長，技術更新快，需要持續投入，對于中小型企業來說風險較高。建議相同或相近的設備制造廠家通過聯合、并購、重組等各種方式，抱團取暖，避免重復投入，集中優勢資源，提高設備的性能和競爭力。努力做到大而專，避免小而全。
（2）進入芯片廠家方式可以多樣化
以合作共同研發、Demo、融資租賃等方式。
(3)發揮地域和服務優勢
國產化不只是要提供優質的設備，同時要提供與之配套的備件、原材料、服務以及技術解決方案。深入了解客戶的需求。
（4） 在新的領域突破
擺脫一直跟在國外設備后面跑的問題，做到先入為主，占領新的制高點。
三、 企業的心聲
（1） 在前幾年各地政府對于MOCVD設備的引進給予了相應的補貼，使得MOCVD設備的擁有量大幅度增加。在這種不利的條件下，國產MOCVD設備廠家經過一段蟄伏期生產出可用于產業化的MOCVD設備，并且有企業正在試用。希望國家相關部門出臺政策加以扶持和正確引導，鼓勵使用國產設備，其中包括采購費用補貼，或稅收減免或采用專項扶持等，盡快實現重大裝備國產化的目標。
（2） 國產設備特別是MOCVD設備是LED產業鏈中的核心高端裝備。研發投資額耗費巨大，若企業沒有長期、持續的投入，很難在短期有立竿見影的經濟效益。國產設備也是產品，10臺、50臺、100臺甚至更多，希望生產廠家要有充分的思想準備和經濟實力以及如何解決長期投入帶來的投資壓力。
（3） 作為外延芯片企業愿意和設備廠家共同努力，推進設備國產化進程。正是因為有了你們的付出使得進口設備廠家放下身段，降低價格，通過我們的使用促進了設備國產化，形成了正能量的良性循環。
（4） 最后希望在設備廠家和使用企業的共同努力下，在政府相關部門的支持下，共同推進重大裝備國產化的目標，讓LED照明全行業越來越多的國產設備出現，為行業發展做貢獻。（本文系根據圓融光電總經理康建演講報告整理）
