近日，壹倍科技發布Micro LED晶圓級巨量檢測系統α-INSPEC M1000e，該系統可以用于Micro LED晶圓級工藝制程中的發光性能全檢。

據介紹，這是繼日本、韓國等幾家國外公司推出該類型設備后，國內首套自主研發并突破Micro LED芯片巨量檢測技術的系統，為我國的新型顯示制造裝備國產化奠定了必要和堅實的一步。

Micro LED是將傳統的LED發光芯片微縮化、陣列化后，可以作為自發光的像素進行顯示。相比于傳統LCD和OLED具有更優的顯示性能，被認為是未來的終極顯示技術。Micro LED近年來進入高速發展階段，特別是大尺寸商用及高階家用顯示，以及AR/VR微型顯示等場景的發展，都令Micro LED有了更大施展空間。業內預計，Micro LED在2024年將實現大規模商用化，中國有望沖擊800億元市場規模。

Micro LED晶粒的尺寸在50μm以下，相比傳統LED和Mini LED，每一片晶圓上的晶粒數量會呈幾何級數增加達到數百萬顆，甚至千萬顆以上。如何針對Micro LED晶圓級工藝制程生產環節中的全檢，以降低后續巨量轉移、修復的成本、提升芯片良率，成為產業亟待解決的瓶頸環節。

壹倍科技率先推出國內首套巨量檢測系統α-INSPEC M1000e，通過完全自主研發的光學技術，實現非接觸式、無損、超快速的檢測與分析，能夠量測芯片的發光波長、半高寬以及發光強度等詳細參數，實現對失效、異常芯片的高效精準檢出。檢測速度快是該系統的顯著優勢之一，如整片4英寸晶圓包含數百萬顆Micro LED芯片能夠在十分鐘內檢測完。此外驗證表明，檢測結果具有優異的的穩定性和重復性。

目前國際上已有日韓等少數廠商于近年發布商業化的Micro LED晶圓級檢測設備，從規格參數對比效果上，α-INSPEC M1000e具備優于海外設備的綜合性能水平。據悉，該系統已與國內多家LED領域頭部企業達成合作意向。

Micro LED是LED、顯示面板和半導體產業的交匯點，標志著LED行業由傳統照明市場向萬億級別的半導體顯示市場滲透，由此帶來的行業整合無疑將重塑整個供應鏈體系。

同時，近年來國家以及地方陸續出臺了多項政策予以支持，特別是由季華實驗室聯合國家新型顯示技術創新中心等共同籌劃的顯示制造關鍵裝備研發及產業化行動，簡稱“璀璨行動”，旨在培育發展上下游產業，推動我國實現從顯示制造大國向顯示制造強國的戰略性轉變。

在這樣的大背景下，壹倍科技此次率先推出該系統無疑將加速我國新型顯示裝備國產化的步伐，有助于打破關鍵裝備由國外巨頭壟斷的局面。

關于壹倍科技

壹倍科技是一家專注于第三代半導體晶圓級檢測設備的供應商，公司由多位來自香港中文大學的博士創立，具備物理、材料、光學和自動化等專業研發背景和豐富的半導體設備產業化經驗。

該團隊致力于以非接觸式的光學手段提高第三代半導體襯底、外延及芯片的良率控制水平，并計劃陸續推出在Mini LED和SiC領域的非接觸式檢測設備。