在這兩個技術突破的過程中,原子層沉積ALD(Atomic Layer Deposition)技術扮演了非常重要的角色,尤其是對元器件的保護至關重要,ALD技術目前已經廣泛使用在集成電路IC與光電產業,尤其是在關鍵的功能性納米膜層與芯片器件的保護膜層上。(此次ALD設備,主要與芬蘭的設備商Picosun公司合作)
在這兩個技術突破的過程中,原子層沉積ALD(Atomic Layer Deposition)技術扮演了非常重要的角色,尤其是對元器件的保護至關重要,ALD技術目前已經廣泛使用在集成電路IC與光電產業,尤其是在關鍵的功能性納米膜層與芯片器件的保護膜層上。(此次ALD設備,主要與芬蘭的設備商Picosun公司合作)