深紫外LED可以取代現有的殺菌用汞燈，還能實現便攜式殺菌消毒系統，甚至還能創造醫療診斷及醫療分析等新市場。日前，日本信息通信研究機構(NICT)新開發出波長265nm的深紫外LED，實現了輸出功率高達90mW/cm2的連續發光，這一功率足以滿足實用化需求。

波長265nm附近的電磁波被稱作深紫外線，能有效破壞生物體的DNA和RNA，因此能有效殺死細菌和病毒等。以這個波長發光的LED叫做深紫外LED。如果深紫外LED達到實用化水平，就可以取代現有的殺菌用汞燈，而且其尺寸比汞燈小得多，還能創造新市場，因此業內一直都在推進相關開發，但面臨的主要課題是輸出功率不高。

光提取效率達到原來3倍

此次，NICT將原來采用的藍寶石基板換成氮化鋁(AlN)基板，開發出了深紫外LED。AlN基板的特點是晶體缺陷比藍寶石基板大幅減少。

但是，以前AlN基板存在折射率大、光提取效率非常低的問題。NICT在作為光提取面的AlN基板表面形成了由尺寸與波長基本相同的結構——二維光子晶體結構，以及尺寸比波長小的納米結構組合而成的圖案。光提取效率達到未做這種表面加工時的196%(約為原來的3倍)。

外部量子效率為6.3%(電流為200mA時)，據NICT介紹，這在270nm以下波長中屬于全球最高值。